Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов
autor
Bachverk, Aleksander
vastutusandmed
А. Бахверк
allikas
Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1977
leheküljed
с. 135-142 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190987*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200
märksõna
pooljuhtseadised
jõuseadised
difusioon (füüsika)
tootmistehnoloogia
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Identification of thermal operations sequence of diffusion technology in power semiconductor devices production
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene