Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов
autor
Rang, Toomas
vastutusandmed
Т.Х. Ранг
allikas
Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1982
leheküljed
с. 33-37
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538
Электротехника и автоматика ; 21
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 538
Труды ТПИ ; 538
leitav
https://www.ester.ee/record=b1339926*est
https://www.etera.ee/zoom/121726/view?page=3&p=separate&search=true&tool=search
märksõna
pooljuhtseadised
tehnoloogia
protsessid
matemaatiline modelleerimine
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0134-3823
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Numerical model for technological process of semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
elektroonika kateeder
keel
vene