Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов

autor
vastutusandmed
Т.Х. Ранг
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 33-37
ISSN
0136-3549
0134-3823
märkused
Библиогр. : 5 назв
Summary: Numerical model for technological process of semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene