Use of atomic-force microscopy for characterization of silicon, implated with heavy ions at high doses
autor
Angelov, Christo
Groudev, P.
Mikli, Valdek
vastutusandmed
Ch. Angelov, P. Groudev, V. Mikli
allikas
Proceedings of 11th Conference "Materials for Information Tech. in the New Millenium" : ISCMP : Varna, 2001
ilmumiskoht
[S.l.]
ilmumisaasta
2001
leheküljed
p. 460-464
märksõna
aatomjõumikroskoopia
räni
rasked ioonid
keel
inglise