Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники
autor
Kaipoksin, L.
Puusepp, Ü.
Rätsep, Ülo
Teevet, J.-T.
vastutusandmed
Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.
allikas
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
kirjastus/väljaandja
ЦНИИ "Электроника"
ajakirja aastakäik number kuu
2
ilmumisaasta
1983
leheküljed
с. 76-79 : илл
leitav
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
märksõna
mikroelektroonika
mikrokliima
ISSN
0207-6357
märkused
Библиогр.: 2 назв.
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene