Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники

autor
Kaipoksin, L.
Puusepp, Ü.
vastutusandmed
Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
2
ilmumisaasta
leheküljed
с. 76-79 : илл
ISSN
0207-6357
märkused
Библиогр.: 2 назв.
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene