Comparative ellipsometric and ion beam analytical studies on ion beam crystallized silicon implanted with Zn and Pb ions
autor
Lohner, Tivador
Angelov, Christo
Mikli, Valdek
vastutusandmed
Tivador Lohner, Christo Angelov and Valdek Mikli
allikas
Thin solid films
ajakirja aastakäik number kuu
516
ilmumisaasta
2008
leheküljed
22, p. 8009-8012
leitav
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609008003660
märksõna
ioonimplantatsioon
räni
ioonkiired
kristallisatsioon
ellipsomeetria
spektromeetria
optilised omadused
ISSN
0040-6090
keel
inglise