К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов
autor
Kiitam, Andres
vastutusandmed
А. Кийтам
allikas
Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1977
leheküljed
с. 143-151
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190987*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200
märksõna
pooljuhtseadised
tootmistehnoloogia
mudelid
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 9 назв
Summary: On solution of some problems using simulation model of technological process producing semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene