Разработка системы программного управления высокотемпературными операциями в производстве силовых полупроводниковых приборов

vastutusandmed
А.Г. Бахверк, С.К. Ряхми
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 41-50 : илл
ISSN
0136-3549
0134-3823
märkused
Библиогр. : 3 назв
Summary: Working out the program control systems for hightemperature operations in the production of power semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene