Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов

vastutusandmed
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 187-192 : илл
märkused
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene