Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов
autor
Annus, Arno
Bachverk, Aleksander
Kalm, Evald
Kiitam, Andres
Võrk, Jaan
vastutusandmed
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1975
leheküljed
с. 187-192 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 387
pealkiri
seeria-sari
Труды ТПИ ; 387
pealkiri
seeria-sari
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190710*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/ffbd63ed-06d6-4bbb-9468-118f743cc87f
märksõna
jõuseadised
pooljuhtseadised
tootmistehnoloogia
protsessid
matemaatiline modelleerimine
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene