О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов

autor
Annus, Arno
Kalm, Evald
Kivistik, Alar
Rink, V.
Võrk, Jaan
vastutusandmed
А.А. Аннус, Э.П. Калм, А.Р. Кивистик, В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1975
leheküljed
с. 193-202 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13
seeria variantpealkiri
pealkiri seeria-sari
pealkiri seeria-sari
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190710*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/ffbd63ed-06d6-4bbb-9468-118f743cc87f
märksõna
jõuseadised
pooljuhtseadised
modelleerimine (teadus)
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр.: 1 назв
Zusammenfassung: Über die Modellierung des Abschnitts der mechanischen Siliziumbearbeitung beim Erarbeiten des automatischen Steuerungssystems des technologischen Prozesses der Starkstromhalbleitergeräteherstellung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
automaatika kateeder
keel
vene