Atomic layer deposition of high-k dielectrics on carbon nanoparticles
autor
Tamm, Aile
Koel, Mihkel
Peikolainen, Anna-Liisa
vastutusandmed
Aile Tamm, Anna-Liisa Peikolainen, ..., Mihkel Koel, ... [et al.]
allikas
Thin solid films
kirjastus/väljaandja
Elsevier
ajakirja aastakäik number kuu
538
ilmumisaasta
2013
leheküljed
p. 16-20 : ill
leitav
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2012.09.071
märksõna
süsinikuühendid
nanostruktuursed materjalid
nanoosakesed
aatomkihtsadestamine
võtmesõna
carbon nanoparticles
atomic layer deposition
laminated nanostructure
ISSN
0040-6090
märkused
Bibliogr.: 15 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
Scopus
https://www.scopus.com/sourceid/12347
https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84879079949&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&sot=b&sdt=b&s=DOI%2810.1016%2Fj.tsf.2012.09.071%29
WOS
https://jcr.clarivate.com/jcr-jp/journal-profile?journal=THIN%20SOLID%20FILMS&year=2013
https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000320584800004
kategooria (üld)
Materials science
Materjaliteadus
Physics and astronomy
Füüsika ja astronoomia
kategooria (alam)
Materials science. Metals and alloys
Materjaliteadus. Metallid ja sulamid
Materials science. Surfaces, coatings and films
Materjaliteadus. Pinnad, katted ja kiled
Materials science. Electronic, optical and magnetic materials
Materjaliteadus. Elektroonilised, optilised ja magnetilised materjalid
Materials science. Materials chemistry
Materjaliteadus. Materjalide keemia
Physics and astronomy. Surfaces and interfaces
Füüsika ja astronoomia. Pinnad ja liidesed
kvartiil
Q1
TTÜ struktuuriüksus
keemiainstituut
keel
inglise