Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния
autor
Paat, Aadu
Timma, Enn
Trombovetski, A.
vastutusandmed
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
allikas
Труды по физике : сборник статей. 6
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1973
leheküljed
с. 27-33 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 338
Труды по физике : сборник статей ; 6
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 338
pealkiri
seeria-sari
Труды ТПИ ; 338
pealkiri
seeria-sari
leitav
https://www.ester.ee/record=b2190564*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/020d3bce-d60f-45bd-aa8f-4906f2c1d0d6
märksõna
räni
ränioksiid
polükristalsed materjalid
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
füüsika kateeder
keel
vene