Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния

autor
Trombovetski, A.
vastutusandmed
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 27-33 : илл
märkused
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene