Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площадиVinnal, J.A.; Kõverik, Kait; Tarma, M.Тезисы докладов республиканской научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым1975 / с. 3 https://www.ester.ee/record=b1322122*est