Offengelegte Patentanmeldung DE 10 2007 062966 A1. Methode zur Kalibrierung von Schichtdickennormalen
Laaneots, Rein
;
Abiline, Indrek
;
Nanits, Mats-Maidu
;
Riim, Jürgen
Patentblatt
2008
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p. 62484