Применение численных моделей при разработке полупроводниковых приборов и технологии их изготовления

vastutusandmed
Велмре, Э. Э., Удал, А. Э., Фрейдин, Б. П.
allikas
Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления"
ilmumiskoht
Москва
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 51-56
konverentsi nimetus, aeg
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
konverentsi toimumispaik
Москва
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Велмре, Э., Удал, А., Фрейдин, Б. Применение численных моделей при разработке полупроводниковых приборов и технологии их изготовления // Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления". Москва : [Б. и.], 1981. с. 51-56.