TalTech publikatsioonid
pealdis Kaste, N., Filbert, A., Mescheder, U., Rang, T, Rang, G.
TTÜ struktuuriüksus Thomas Johann Seebecki elektroonikainstituut
maakood gb
keel inglise
autor Kaste, N.
Filbert, A.
Mescheder, U.
Rang, Toomas
Rang, Galina
pealkiri Process development for 3D laser lithography
vastutusandmed N. Kaste, A. Filbert, U. Mescheder, T. Rang & G. Rang
allikas High performance and optimum design of structures and materials
ilmumiskoht Southampton
kirjastus/väljaandja WIT Press
ilmumisaasta 2014
leheküljed p. 139-150 : ill
seeria-sari WIT transactions on the built environment ; 137
konverentsi nimetus, aeg 7th International Conference on High Performance and Optimum Design of Structures and Materials (HPSM)
konverentsi toimumispaik Ostend, Belgium
märksõna fotolitograafia
lasertehnoloogia
võtmesõna MEMS
greyscale
direct laser writing
3D photolithography
tactile sensor
medical application
ISSN 1746-4498
ISBN 978-1-84564-774-2
märkused Bibliogr.: 6 ref