TalTech publikatsioonid
pealdis Мейлер, Б.Л.
TTÜ struktuuriüksus füüsika kateeder
maakood ed
keel vene
autor Meiler, Boriss
pealkiri Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе
vastutusandmed Б. Мейлер
allikas Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
ilmumiskoht Таллин
kirjastus/väljaandja Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta 1986
leheküljed с. 85-92
seeria-sari Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
seeria variantpealkiri TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
märksõna integraallülitused
parameetrid
elektronmikroskoobid
lahused
analüüs
TTÜ märksõna Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
621.382
märkused Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
url https://www.ester.ee/record=b1296001*est