TalTech publikatsioonid
pealdis Aristov, V.V., Dubnos, S.V., Dyachenko, R.Ya., Gaifullin, B.N., Matveev, V.N., Svintsov, A.A., Zaitsev, S.I.
maakood ed
autor Aristov, V.V.
Dubonos, S.V.
Dyachenko, R.Ya.
Gaifullin, B.N.
Matveev, V.N.
Svintsov, A.A.
Zaitsev, S.I.
pealkiri Creation of diffractive optical elements by one step e-beam lithography for optoelectronics and X-ray lithography
vastutusandmed V.V.Aristov, S.V.Dubonos, R.Ya.Dyachenko, B.N.Gaifullin, V.N.Matveev, A.A.Svintsov and S.I.Zaitsev
allikas BEC'96 : the 5th Biennial Baltic Electronics Conference, October 7-11, 1996, Tallinn, Estonia : proceedings
ilmumiskoht [Tallinn]
ilmumisaasta c1996
leheküljed p. 483-486: ill
ISBN 9985-59-026-0
märkused Bibl. 14 ref