compact view print

Системное исследование влияния технологического микроклимата на качество интегральных микросхем

author
Rätsep, Ülo
statement of authorship
Ю.П. Рятсеп
source
Методы обработки и регистрации сигналов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1981
pages
с. 53-58 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 521
Радиотехника ; 9
series variant title
TPI Toimetised ; 521
Труды ТПИ ; 521
url
https://www.ester.ee/record=b1507633*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b58bba27-822f-44c3-8387-50d8a26bb3d3
subject term
integraallülitused
kvaliteet
tootmistehnoloogia
mikrokliima
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3441
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Evaluation of influence of the plant environment parameters on the quality of integrated circuits
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
raadiotehnika kateeder
language
vene
Рятсеп, Ю.П. Системное исследование влияния технологического микроклимата на качество интегральных микросхем // Методы обработки и регистрации сигналов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1981. с. 53-58 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 521, Радиотехника ; 9). https://www.ester.ee/record=b1507633*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b58bba27-822f-44c3-8387-50d8a26bb3d3