compact view print

Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе

author
Meiler, Boriss
statement of authorship
Б. Мейлер
source
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1986
pages
с. 85-92 : ил
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
url
https://www.ester.ee/record=b1296001*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89
subject term
integraallülitused
parameetrid
elektronmikroskoobid
lahused
analüüs
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3395
notes
Библиогр. : 8 назв
Abstract: The degradation of integrated circuits parameters during the analysis in the scanning electron micriscope
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
füüsika kateeder
language
vene
Мейлер, Б.Л. Изменение параметров интегральных схем при анализе в растровом электронном микроскопе // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1986. с. 85-92 : ил. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620, Полупроводниковые материалы ; 7). https://www.ester.ee/record=b1296001*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/65e24755-71eb-4a99-b9fe-e1308121ed89