Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates
vastutusandmed
Asad Alamgir, Andrei Bogatov, Maxim Yashin, and Vitali Podgursky
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 68, 2
ilmumisaasta
leheküljed
p. 126-130 : ill
konverentsi nimetus, aeg
Modern Materials and Manufacturing 2019 (MMM 2019), April 24-26, 2019
konverentsi toimumispaik
Tallinn
leitav
märksõna
võtmesõna
ISSN
1736-6046
märkused
Kokkuvõte: Si(100) substraatidele aatomkihtsadestamisel valmistatud 100 nm paksusega Al2O3kilede mehaanilised ja triboloogilised omadused
Bibliogr.: 13 ref
Open Access
Open Access
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
kategooria (üld)
kategooria (alam)
kvartiil
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Alamgir, A., Bogatov, A., Yashin, M., Podgurski, V. Mechanical and tribological properties of 100-nm thick alumina films prepared by atomic layer deposition on Si(100) substrates // Proceedings of the Estonian Academy of Sciences (2019) vol. 68, 2, p. 126-130 : ill. https://doi.org/10.3176/proc.2019.2.01 http://www.kirj.ee/public/proceedings_pdf/2019/issue_2/proc-2019-2-126-130.pdf