Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов
autor
vastutusandmed
А. Аннус, Е. Воронина, А. Кивистик, В. Плескунин, Р. Пост
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 145-154 : илл
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
TTÜ märksõna
märkused
Библиогр. : 3 назв
Summary: Technique of reproducibility analysis for technological process producing power semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Аннус, А., Воронина, Е., Кивистик, А., Плескунин, В., Пост, Р. Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1976. с. 145-154 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14).