From virtual characterization to test-chips : DFM analysis through pattern enumeration
autor
Martins, Mayler G.A.
Pagliarini, Samuel Nascimento
Isgenc, Mehmet Meric
Pileggi, Larry
vastutusandmed
Mayler G.A. Martins, Samuel N. Pagliarini, Mehmet Meric Isgenc, Larry Pileggi
allikas
IEEE transactions on computer-aided design of integrated circuits and systems
kirjastus/väljaandja
IEEE
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 39, no. 2
ilmumisaasta
2020
leheküljed
p. 520-532
leitav
https://doi.org//10.1109/TCAD.2018.2889772
märksõna
integraallülitused
standardid (normid)
räni
litograafia
võtmesõna
Libraries
Microsoft Windows
Silicon
Layout
Lithography
Shape
Standards
Design for manufacturability
DFM analysis
pattern enumeration
test-chips
virtual characterization
ISSN
0278-0070
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
TTÜ struktuuriüksus
arvutisüsteemide instituut
keel
inglise
Uurimisrühm
Riistvara turvalisuse keskus