From virtual characterization to test-chips : DFM analysis through pattern enumeration

vastutusandmed
Mayler G.A. Martins, Samuel N. Pagliarini, Mehmet Meric Isgenc, Larry Pileggi
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 39, no. 2
ilmumisaasta
leheküljed
p. 520-532
võtmesõna
Microsoft Windows
Lithography
DFM analysis
pattern enumeration
test-chips
virtual characterization
ISSN
0278-0070
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
1.1
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise