Rapid prototyping of silicon structures by aid of laser and abrasive-jet machining
vastutusandmed
Arvi Krusing, Sepo Lepävuori, Antti Uusimäki, Mati Uusimäki
allikas
Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April, 1999, Paris, France
ilmumiskoht
[S.l.]
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
p. 870-878 : ill
seeria-sari
Proceedings of SPIE ; 3680, 2
võtmesõna
laser machining
abrasive-jet machining
silcon microstructures
ISSN
0277-786X
märkused
Bibliogr.: 35 ref
keel
inglise
Kruusing, A., Leppävuori, S., Uusimäki, A., Uusimäki, M. Rapid prototyping of silicon structures by aid of laser and abrasive-jet machining // Design, Test and Microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April, 1999, Paris, France. [S.l.] : SPIE, 1999. p. 870-878 : ill. (Proceedings of SPIE ; 3680, 2).