Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади

autor
Vinnal, J.A.
vastutusandmed
Я.А. Винналь, К.Г. Кыверик, М.Т. Тарма
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 3
konverentsi nimetus, aeg
Республиканская научно-техническая конференция, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым, 1975
konverentsi toimumispaik
Таллинн
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Винналь, Я., Кыверик, К., Тарма, М. Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади // Тезисы докладов республиканской научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым. Таллин : Министерство связи Эстонской ССР, 1975. с. 3.