Szilicium planar technologiai eljaras szamitögepes stimulacioja

statement of authorship
T. Rang, K. Tarnay, F. Masszi, J. Mizsei, P. Baji, Kovacs, G. Drozdy
source
Finommechanika, mikrotechnika: az Optikai, Akusztikai és Filmtechnikai Egyesület, a Híradástechnikai Tudományos Egyesület és a Méréstechnikai és Automatizálási Tudományos Egyesület lapja
publisher
journal volume number month
vol. 18, no. 9
year of publication
pages
p. 257-260
ISSN
0231-2662
TTÜ department
language
ungari
Rang, T., Tarnay, K., Masszi, F. et al. Szilicium planar technologiai eljaras szamitögepes stimulacioja // Finommechanika, mikrotechnika: az Optikai, Akusztikai és Filmtechnikai Egyesület, a Híradástechnikai Tudományos Egyesület és a Méréstechnikai és Automatizálási Tudományos Egyesület lapja (1979) vol. 18, no. 9, p. 257-260.