Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий
author
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
Saar, Bernhard
statement of authorship
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
source
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1970
pages
с. 89-94 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8
series variant title
TPI Toimetised ; Seeria A ; 291
title
series
Труды ТПИ ; Серия А ; 291
title
series
url
https://www.ester.ee/record=b2189971*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/f65c4042-b55d-4b5b-b9b9-8a70cac2957d/
subject term
pooljuhid
tootmine
tolm
mõjud
vähendamine
TTÜ subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
raadiotehnika kateeder
peenmehaanika kateeder
language
vene