Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборов
author
Шишияну, Сергей
Шонтя, Виктор П.
statement of authorship
Сергей Шишияну; научный руководитель Виктор П.Шонтя
location of publication
Б.м.
year of publication
pages
с. 31-34: ил
notes
Библиогр. 4 назв
Шишияну С. Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборов // 35 научная конференция студентов втузов Эстонии, Латвии, Литвы, Белоруссии и Молдовы : [Таллинн, 1991] : докдады. Секция математики [и др.]. Б.м., 1991. с. 31-34: ил.