Метод исследования технологического процесса производства интегральных микросхем, основанный на анализе кластеров состояний
author
statement of authorship
Ю.П. Рятсеп, Дж.-Т.Э. Тээвет
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 39-43
series
series variant title
url
TalTech subject term
ISSN
0136-3549
0320-3441
notes
Библиогр. : 4 назв
Summary: A research method for integrated circuits production process, based on condition clusters analysis
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
TalTech department
language
vene
Рятсеп, Ю.П., Тээвет, Дж.-Т.Э. Метод исследования технологического процесса производства интегральных микросхем, основанный на анализе кластеров состояний // Методы и средства обработки сигналов при наличии шумов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1982. с. 39-43. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 540, Радиотехника ; 10).