Статистическая модель бороалюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов
statement of authorship
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам
source
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 18
conference name, date
Эстонская республиканская научно-техническая конференция, посвященная Дню радио, 1977
conference location
Таллин
TTÜ department
language
vene
Аннус, А., Бахверк, А., Калм, Э., Кийтам, А. Статистическая модель бороалюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов // Тезисы докладов республиканской научно-технической конференции, посвященной Дню радио, Таллин, 1977. Таллин : Министерство связи Эстонской ССР, 1977. с. 18.