Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18)
author
supervisor
statement of authorship
Юло Петерович Рятсеп ; [научный руководитель: М.Э. Пуусепп] ; Таганрогский радиотехнический институт
type of dissertation
kandidaaditöö
university/scientific institution
Таганрогский радиотехнический институт
location of publication
Таганрог
publisher
[Таганрогский радиотехнический институт]
year of publication
pages
23 c. : ил
subject term
name of the institution
Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова
subject of form
notes
Рятсеп, Юло Петерович, 1943-1994
[работа выполнена на кафедре радиотехники ТПИ]
Библиогр. с. 22-23
Ametialaseks kasutamiseks
Kaitsmine: Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова = Taganrogi Raadiotehnika Instituut 5.12.1983 ; kinnitatud ; tehnikakandidaat
TTÜ department
language
vene
Рятсеп, Ю. Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18). Таганрог : [Таганрогский радиотехнический институт], 1983. 23 c. : ил.