Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
А. Бахверк
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 135-142 : илл
series
series variant title
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Identification of thermal operations sequence of diffusion technology in power semiconductor devices production
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
TTÜ department
language
vene
Бахверк, А. Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 135-142 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15).