Мейлер Б.Л., Хацкевич М.М., Ладочкин А.А., Фомин В.Г.

Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния

author

Meiler, Boriss

Hatskevitš, M.

Ladotškin, A.

Fomin, V.

statement of authorship

Б.Л.Мейлер, М.М.Хацкевич, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин

source

Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised

journal volume number month

707

year of publication

1990

pages

lk. 60-71: ill

subject term

monokristallid

räni

struktuur

ISSN

0868-4081

notes

Bibl. 9 nim

review

Abstract: B.Meiler, V.Hatskevitch, A.Ladochkin, V.Fomin. The structure and depth of the damaged layer of monocrystalline silicon after rough abrasive treatment

Kokkuvõte: Jämeda abrasiiviga lihvitud monokristalse räni rikutud kihi struktuur ja sügavus

language

vene

Мейлер Б.Л., Хацкевич М.М., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 60-71: ill.