Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния
autor
vastutusandmed
Б.Л.Мейлер, М.М.Хацкевич, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин
ajakirja aastakäik number kuu
707
ilmumisaasta
leheküljed
lk. 60-71: ill
ISSN
0868-4081
märkused
Bibl. 9 nim
retsensioon
Abstract: B.Meiler, V.Hatskevitch, A.Ladochkin, V.Fomin. The structure and depth of the damaged layer of monocrystalline silicon after rough abrasive treatment
Kokkuvõte: Jämeda abrasiiviga lihvitud monokristalse räni rikutud kihi struktuur ja sügavus
keel
vene
Мейлер Б.Л., Хацкевич М.М., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Структура и глубина нарушенного слоя при грубой абразивной обработке монокристаллического кремния // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 60-71: ill.