full record print

Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов

author
Meiler, Boriss
Kropman, Daniel
Levtšenkova, Alla
statement of authorship
Б. Мейлер, Д. Кропман, А. Левченкова
source
Микроэлектроника
publisher
journal volume number month
Т. 16, 2
year of publication
pages
с. 165-169 : илл
url
ISSN
0544-1269
notes
Библиогр.: 9 назв
language
vene
Мейлер, Б., Кропман, Д., Левченкова, А. Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов // Микроэлектроника (1987) Т. 16, 2, с. 165-169 : илл. https://www.ester.ee/record=b2147720*est