Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой
author
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 15-28
series
series variant title
TPI Toimetised ; 545
Труды ТПИ ; 545
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 15 назв
language
vene
Гаврилов, А.А., Качурин, Г.А. Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1983. с. 15-28. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 545, Полупроводниковые материалы ; 5).