prindi

Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой

autor
Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
allikas
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1983
leheküljed
с. 15-28
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 545
Полупроводниковые материалы ; 5
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 545
Труды ТПИ ; 545
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр. : 15 назв
keel
vene
Гаврилов, А.А., Качурин, Г.А. Импульсно-плазменное легирование кремния сурьмой // Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1983. с. 15-28. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 545, Полупроводниковые материалы ; 5).