Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади
author                    
                    
                
statement of authorship                    
                    
Я.А. Винналь, К.Г. Кыверик, М.Т. Тарма
                            
                    
location of publication                    
                    
Таллин
                            
                    
publisher                    
                    
                
year of publication                    
                    
                
pages                    
                    
с. 3
                            
                    
conference name, date                    
                    
Республиканская научно-техническая конференция, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым, 1975
                            
                    
conference location                    
                    
Таллинн
                            
                    
subject term                    
                    
                
TalTech department                    
                    
                
language                    
                    
vene
                            
                    
                            Винналь, Я., Кыверик, К., Тарма, М. Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади // Тезисы докладов республиканской научно-технической конференции, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым. Таллин : Министерство связи Эстонской ССР, 1975. с. 3.  https://www.ester.ee/record=b1322122*est