Применение численных моделей при разработке полупроводниковых приборов и технологии их изготовления
statement of authorship
Велмре, Э. Э., Удал, А. Э., Фрейдин, Б. П.
location of publication
Москва
publisher
year of publication
pages
с. 51-56
conference name, date
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
conference location
Москва
subject term
TTÜ department
language
vene
Велмре, Э., Удал, А., Фрейдин, Б. Применение численных моделей при разработке полупроводниковых приборов и технологии их изготовления // Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления". Москва : [Б. и.], 1981. с. 51-56.