Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов
statement of authorship
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 187-192 : илл
series
series variant title
url
notes
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
scientific publication
teaduspublikatsioon
TTÜ department
language
vene
subject term
TTÜ subject term
classifier
3.2
Аннус, А., Бахверк, А., Калм, Э., Кийтам, А., Вырк, Я. Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1975. с. 187-192 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13).