Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов
vastutusandmed
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам, Я.М. Вырк
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 187-192 : илл
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
TTÜ märksõna
märkused
Библиогр.: 7 назв
Summary: Modeling of technological operations on the division of boron-aluminium diffusion of power semiconductor devices producing technological process
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Аннус, А., Бахверк, А., Калм, Э., Кийтам, А., Вырк, Я. Моделирование технологических операций на участке боралюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1975. с. 187-192 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13).