Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда
author
statement of authorship
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
journal volume number month
т. 15, вып. 6
year of publication
pages
с.1232-1234
subject term
ISSN
0015-3222
notes
Библиогр. 5 назв.
TTÜ department
language
vene
Гаврилов, А., Качурин, Г. Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда // Физика и техника полупроводников = Physics and technics of semiconductors (1981) т. 15, вып. 6, с.1232-1234.