Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов

author
Voronina, J.
Pleskunin, V.
statement of authorship
А. Аннус, Е. Воронина, А. Кивистик, В. Плескунин, Р. Пост
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 145-154 : илл
notes
Библиогр. : 3 назв
Summary: Technique of reproducibility analysis for technological process producing power semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
language
vene
Аннус, А., Воронина, Е., Кивистик, А., Плескунин, В., Пост, Р. Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1976. с. 145-154 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14). https://www.ester.ee/record=b2190768*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1