Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
А. Аннус, Е. Воронина, А. Кивистик, В. Плескунин, Р. Пост
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 145-154 : илл
series
series variant title
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 3 назв
Summary: Technique of reproducibility analysis for technological process producing power semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
TTÜ department
language
vene
Аннус, А., Воронина, Е., Кивистик, А., Плескунин, В., Пост, Р. Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике. 14. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1976. с. 145-154 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409, Труды по электротехнике и автоматике ; 14).