Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
Б. Мейлер, Д. Кропман, А. Левченкова
source
Микроэлектроника
publisher
journal volume number month
Т. 16, 2
year of publication
pages
с. 165-169 : илл
subject term
ISSN
0544-1269
notes
Библиогр.: 9 назв
TTÜ department
language
vene
Мейлер, Б., Кропман, Д., Левченкова, А. Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов // Микроэлектроника (1987) Т. 16, 2, с. 165-169 : илл.