Метод исследования комплексного влияния параметров технологического микроклимата на качество полупроводниковых интегральных микросхем
author
statement of authorship
Рятсеп, Ю. П.
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 81-82
conference name, date
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, посвященной Дню радио, ноябрь 1980
conference location
Таллин
subject term
TTÜ department
language
vene
Рятсеп, Ю. Метод исследования комплексного влияния параметров технологического микроклимата на качество полупроводниковых интегральных микросхем // Тезисы докладов Республиканской научно-технической конференции "Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования", посвященной Дню радио. Секция: полупроводниковые приборы. Таллин : [Эстонское республиканское правление научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А. С. Попова], 1981. с. 81-82.