Мейлер Б.Л., Ладочкин А.А., Фомин В.Г.

Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем

author

Meiler, Boriss

Ladotškin, A.

Fomin, V.

statement of authorship

Б.Л.Мейлер, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин

source

Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised

journal volume number month

707

year of publication

1990

pages

lk. 72-86: ill

subject term

plaadid

räni

termiline töötlemine

ISSN

0868-4081

notes

Bibl. 9 nim

review

Abstract: B.Meiler, A.Ladochkin, V.Fomin. Annealing of monocrystalline silicon slices with damaged layer

Kokkuvõte: Räniplaatide rikutud kihi termotöötlus

language

vene

Мейлер Б.Л., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 72-86: ill.