Изучение ошибок модели управления технологического процесса создания силовых полупроводниковых структур
author
statement of authorship
Сакс Э. К.
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 71-72
conference name, date
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, Республиканская научно-техническая конференция, 1981
conference location
Таллин
TTÜ department
language
vene
Сакс, Э. Изучение ошибок модели управления технологического процесса создания силовых полупроводниковых структур // Тезисы докладов Республиканской научно-технической конференции "Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования", посвященной Дню радио. Секция: полупроводниковые приборы. Таллин : [Эстонское республиканское правление научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А. С. Попова], 1981. с. 71-72.