О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов
statement of authorship
А.А. Аннус, Э.П. Калм, А.Р. Кивистик, В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 193-202 : илл
series
series variant title
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр.: 1 назв
Zusammenfassung: Über die Modellierung des Abschnitts der mechanischen Siliziumbearbeitung beim Erarbeiten des automatischen Steuerungssystems des technologischen Prozesses der Starkstromhalbleitergeräteherstellung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
language
vene
Аннус, А., Калм, Э., Кивистик, А., В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1975. с. 193-202 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13).