О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов
vastutusandmed
А.А. Аннус, Э.П. Калм, А.Р. Кивистик, В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 193-202 : илл
seeria-sari
seeria variantpealkiri
leitav
märkused
Библиогр.: 1 назв
Zusammenfassung: Über die Modellierung des Abschnitts der mechanischen Siliziumbearbeitung beim Erarbeiten des automatischen Steuerungssystems des technologischen Prozesses der Starkstromhalbleitergeräteherstellung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
klassifikaator
3.2
Аннус, А., Калм, Э., Кивистик, А., В.Э.-В. Ринк, Я.М. Вырк О моделировании участка механообработки кремния при создании АСУТП силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 13. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1975. с. 193-202 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 387, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 13).