Мейлер Б.Л., Ладочкин А.А., Фомин В.Г.

täiskirje prindi

Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем

autor

Meiler, Boriss

Ladotškin, A.

Fomin, V.

vastutusandmed

Б.Л.Мейлер, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин

allikas

Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised

ajakirja aastakäik number kuu

707

ilmumisaasta

1990

leheküljed

lk. 72-86: ill

ISSN

0868-4081

märkused

Bibl. 9 nim

retsensioon

Abstract: B.Meiler, A.Ladochkin, V.Fomin. Annealing of monocrystalline silicon slices with damaged layer

Kokkuvõte: Räniplaatide rikutud kihi termotöötlus

keel

vene

Märksõnad ja võtmesõnad

märksõna

plaadid

räni

termiline töötlemine

Мейлер Б.Л., Ладочкин А.А., Фомин В.Г. Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 72-86: ill.