Comparative study of siox layers deposition using thermal and uv-assisted curing of perhydropolysilazane
vastutusandmed                    
                    
Elizaveta Shmagina, Sergei Bereznev
                            
                    
ilmumiskoht                    
                    
Tartu
                            
                    
kirjastus/väljaandja                    
                    
                
ilmumisaasta                    
                    
                
leheküljed                    
                    
P 50
                            
                    
konverentsi nimetus, aeg                    
                    
GSFMT Scientific Conference 2021, June 14-15, 2021
                            
                    
konverentsi toimumispaik                    
                    
Tartu
                            
                    
märksõna                    
                    
                
Open Access                    
                    
Open Access
                            
                    
teaduspublikatsioon                    
                    
teaduspublikatsioon
                            
                    
klassifikaator                    
                    
                
TTÜ struktuuriüksus                    
                    
                
keel                    
                    
inglise
                            
                    
                            Shmagina, E., Bereznev, S. Comparative study of siox layers deposition using thermal and uv-assisted curing of perhydropolysilazane // GSFMT Scientific Conference 2021 : Tartu, June 14-15, 2021 : abstracts. Tartu : Tartu Ülikool, 2021. P 50.